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          美国派克PARKER超高纯束缚膜片减压阀

          • 更新时间:  2019-12-04
          • 产品型号:  SMSQ2MICRO系列
          • 简单描述
          • 美国派克PARKER超高纯束缚膜片减压阀
            SMSQ2Micro 减压阀用于狭小空间需要精确压力控制的UHP超高纯使用点应用。提供优秀的可靠性和泄露完整性,使其成为关键的半导体操作的理想选择。
          详细介绍

          美国派克PARKER超高纯束缚膜片减压阀产品概览:

          派克Veriflo产品组SMSQ2Micro (0.06 Cv)和SMSQ2Micro130E (0.15 Cv)是市场上的微型超高纯减压阀。产品提供极精确可可靠的压力控制,提高了MFC(质量流量控制器)的性能,对半导体生产的重复性和产量至关重要。产品同样表现出更好的泄露完整性和底粒子生成,减少对半导体应用中至关重要的的过程污染.

          减压阀适用于惰性气体和腐蚀性气体,提供阶跃函数流量需求变化的异常响应。产品采用独特的自动定心束缚膜片设计,提供可靠阀座密封和压力调节。通过消除阀芯弹簧和阀座滞留螺纹,zui大限度减少粒子生成和截留,进一步提高工艺清洁度和吹扫性能. 

          SMSQ2Micro接液部件有特殊金属制备,提供优异的耐腐蚀性和泄漏完整性。阀体材料为内部电解抛光 Vericlean? 316L不锈钢。Vericlean? 是派克zhuan利UHP超高纯级不锈钢。膜片和阀芯材料为哈氏合金 C-22?。这些材料由SMSQ2Micro系列独特设计组成,使SMSQ2Micro系列具有强耐腐蚀性和zui高循环寿命,入口压力高达250. 

          SMSQ2Micro和SMSQ2Micro130E均采用与量子阀相同间距接口,符合SEMI模块化接口规范.

          所有SMSQ2Micro系列减压阀的内部(阀座)密封和金属外部密封通过氦泄漏测试,使用质谱仪确保在苛刻超高纯应用中的性能和可靠性.

          市场:
          • 半导体 
          • 分析试验室
          • 制药
          • 生物制药
          • 航空航天
          • 工业

          特点和优势:
          • 有C 和 W密封贴面安装1-1/8"和1-1/2"阀体尺寸 
          • 极低粒子数
          • 束缚膜片消除接液部件的弹簧,增加安全性
          • SMSQ2Micro0.06 Cv,SMSQ2Micro130E 0.15 Cv
          • 出口压力范围: -10 psig 到 60 psig
          • 内漏率:≤ 5 x 10-8 scc/sec立方厘米/秒 He 
          • 外漏率:≤ 2 x 10-10 scc/sec立方厘米/秒 He
          • 5微英寸(Ra粗糙度)电解抛光表面处理
          • 工作压力范围:-40°F 至 +150° F (-40°C 至 +66°C) 

          应用:
          • 腐蚀性和特殊气体
          • 半导体工具
          • 工具挂钩
          • 气体柜
          • 阀组箱 (VMB)

          美国派克PARKER超高纯束缚膜片减压阀技术规格: 

          性能特点
          阀体材料 洁净316L不锈钢
          压缩构件材料 洁净316L不锈钢
          隔膜材料 哈氏合金 C-22
          阀芯材料 哈氏合金 C-22
          阀座材料 PCTFE
          帽材料 铜镀镍
          螺母材料 不锈钢
          旋钮材料 ABS (蓝) (SMSQ2Micro)
          ABS (黑) (SMSQ2Micro130E)
          爆破压力 750 psig (52 barg)
          可承受压力 375 psig (26 barg)
          流速 Cv: 0.06 (SMSQ2Micro), 0.15 (SMSQ2Micro130E)
          内部泄漏率 < 5 x 10-8 cc/sec He
          外部泄漏率 < 2 x 10-10 cc/sec He
          体积 0.08 cm3
          重量 0.9 lb
                 0.42 kg
          表面处理 5微英寸粗糙度
          大入口额定压力 250 psig / 17 barg
          出口额定压力 -10 psig - 60 psig (260 torr - 4.1 barg)
          zui高运行温度 66 °C
                              150 °F
          低运行温度 -40 °C
                              -40 °F

          了解更多相关产品请点击:美国派克PARKER

           


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